紫外臭氧清洗機
產品概述
紫外臭氧清洗機是一種干法清洗設備，可用于清洗多種單晶基片，以成好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧，254nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）；所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。
參數指標
材質內部采用不銹鋼材料
結構抽屜式樣品臺，取、放基板簡單、方便
氣路預留進氣接口，豐富設備的清洗種類
保護抽屜開合與UV燈工作互鎖，避免紫外線傷害
計時按鍵定時器，放便直觀
操作清洗工作進程可以任意時間手動終止
可選配件可選臭氧中和器，避免臭氧傷害
電氣指標
清洗波段：185nm和254nm
距離UV燈3-5mm，平均光強28~32mW/cm2
燈管雙波低壓汞燈X2
燈管功率：300W
燈管尺寸：300mm×300mm
照射區域：300mm×300mm（基臺尺寸305×340mm）
可調照射距離：5~60mm
定時器工作范圍0~99min99s 具有自動倒時功能
機械指標
進、出氣口進氣口：φ8mm，出氣口：φ50mm
設備外型尺寸
長（430mm）×寬（ 380mm）×高（ 320mm）
（含臭氧中和器的尺寸為）長580mm×寬380mm×高420mm
重量：26KG
