西班牙Das-Nano公司成立于2012年，是一家專注研發高安全別打印設備、太赫茲無損檢測設備以及個人身份安全驗證設備的高科技公司。近日，該公司重磅推出了全球可以實現大面積（8英寸wafer）石墨烯和其他二維材料的100%全區域無損非接觸快速電學測量系統-ONYX。
石墨烯/二維材料電學性質非接觸快速測量系統-ONYX 設備圖
ONYX采用一體化的反射式太赫茲時域光譜技術（THz-TDS）彌補了傳統接觸測量方法（如四探針法- Four-probe Method，范德堡法-Van Der Pauw和電阻層析成像法-Electrical Resistance Tomography）及顯微方法（原子力顯微鏡-AFM, 共聚焦拉曼-Raman，掃描電子顯微鏡-SEM以及透射電子顯微鏡-TEM）之間的不足和空白。ONYX可以快速測量從0.5 mm2到~m2的石墨烯及其他二維材料的電學特性，為科研和工業化提供了一種顛覆性的檢測手段。與其他大面積測試方法（例如四探針方法）相比，ONYX能夠測量樣品質量的空間分布信息，并且屬于無損測試，在實驗過程中不會對樣品產生任何損傷。與傳統顯微方法相比，對大面積的樣品可以以微米的空間分辨率快速表征，能夠大的節約測量時間，提高效率[1,2]。
ONYX參數及特點
樣品大小: 10x10mm-200x200mm 超快測量速度：12cm2/min 樣品100%全覆蓋測量 無需樣品制備 | 可定制樣品測量面積(m2量) 高分辨率：50μm 非接觸快速測量 無損快速測量 |
ONYX主要功能
→ 直流電導率（σDC） → 載流子遷移率, μdrift → 直流電阻率, RDC | → 載流子濃度, Ns → 載流子散射時間，τsc → 表面均勻性 |
ONYX應用方向
| 石墨烯 | 光伏薄膜材料 | 半導體薄膜 | 電子器件 |
| PEDOT | 鎢納米線 | GaN顆粒 | Ag 納米線 |
目前，ONYX在國際知名研究機構和工業化領域已經安裝多套設備，包括：丹麥技術大學（DTU），牛津儀器，德國BOSH公司，LG化學，3M公司，西班牙Graphenea公司等。Quantum Design中國子公司也于2020年正式將該產品引進中國，為中國客戶提供高效的技術支持和解決方案，歡迎廣大科研工作者垂詢。
參考文獻
[1] Cultrera, A., Serazio, D., Zurutuza, A. et al. Mapping the conductivity of graphene with Electrical Resistance Tomography. Sci Rep 9, 10655 (2019).
[2] Melios, C., Huang, N., Callegaro, L. et al. Towards standardisation of contact and contactless electrical measurements of CVD graphene at the macro-, micro- and nano-scale. Sci Rep 10, 3223 (2020).
