臭氧老化試驗箱臭氧探頭有三種形式，那就是氣敏半導體式臭氧探頭、紫外式探頭和電化學式探頭。
這三款形式的探頭當中，電化學式探頭所使用的濃度范圍是最高的，其他兩款所涉及的濃度差不多。在使用壽命來說，紫外式探頭的使用壽命是最長的，大約在三年左右，其他兩款大約在一致兩年左右。但是相比較性能特點來說，紫外式探頭響應速度慢，制作工藝較復雜，對使用環境要求高，體積相對較大，檢測安裝不是很方便，電化學式探頭是反應最快的，并且制作工藝較簡單，體積小，一般環境下都可安裝，所以比較方便。
一般電化學式探頭用于環境在線檢測較多，氣敏半導體式探頭可用于在線檢測，紫外式探頭用于高精度儀器。
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