獨創的蔡司Smartproof 5快速轉盤共聚焦顯微鏡榮耀上市
近期,光學儀器領導品牌德國蔡司公司推出了全新的Smartproof 5快速轉盤共聚焦顯微鏡。 Smartproof 5快速轉盤共聚焦顯微鏡作為蔡司共聚焦顯微鏡家庭的新成員,以共聚焦光學為基本原理,采用專利技術高速轉盤掃描為成像方法,將高分辨率與速度完美結合在一起,是一款能夠快速提供工業零部件表面三維輪廓,實現快速非接觸式表面粗糙度測量的高端精密儀器。
Smartproof 5擁有業內最佳的高分辨率和最高共聚焦成像速度,專利的轉盤共聚焦技術有效地減少獲取分析結果的時間。集成和穩固設計確保無附加防振設備下能夠在不同環境中安裝并使用,獨有的操作者模式適合工業生產的批量檢測任務,能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她最尖端的光學技術和基于用戶的設計理念,再次向世界證明了光學領導品牌的地位。
產品優勢
l 高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5將傳統光學分辨率提高1.4倍,其XY方向線分辨率達到130 nm。
l 高測量精度
同時,在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上,Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置,最小步進精度達到1nm,這使得高度上亞微米,甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。
l 高速掃描
傳統共聚焦采用點掃描成像,速度較慢;而Smartproof 5采用轉盤掃描,成像速度是傳統共聚焦顯微鏡的2-3倍,最快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率),可以說瞬間即可得到測量結果,大大提高工作效率。
l 真實色彩還原
還可使用三色LED 光源,能夠展現被測試樣表面的真實顏色,從而將傳統黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。
應用實例:
臺階高度標樣測試(標準高度1.777±0.011mm,NIST認證),實測臺階高度1.772mm。
左圖:三維偽彩圖;右圖:二維輪廓線圖。
粗糙度標樣測試結果。標準粗糙度Ra = 2.97mm,實測Ra=2.962mm。
20x物鏡,4x1三維拼接,cut-off值取1/5取樣長度。